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产品描述
HVA 真空闸阀,真空插板阀 21200 系列为百万周期真空闸阀,专为高真空应用而设计,特别适合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤温度不超过 150°C的应用.HVA 真空闸阀,真空插板阀 21200 系列内部没有机械锁,非常适合对于要求无振动运行的半导体和敏感工艺,所有活动关节的轴都经过硬化处理,减少了颗粒物的产生并提供了更平稳的驱动.
清洁和高密封性保证 HVA 真空阀门与低温泵、涡轮分子泵,离子泵等**联用上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区**指定总代理商.
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